◆性能特點：

光學金相顯微鏡和原子力顯微鏡一體化設計，功能強大。

同時具備光學顯微鏡和原子力顯微鏡成像功能，兩者可同時工作，互不影響。

同時具備光學二維測量和原子力顯微鏡三維測量功能。

激光檢測頭和樣品掃描臺集成一體，結(jié)構(gòu)非常穩(wěn)定，抗干擾性強。

精密探針定位裝置，激光光斑對準調(diào)節(jié)非常簡便。

單軸驅(qū)動樣品自動垂直接近探針，使針尖垂直于樣品掃描。

馬達控制加壓電陶瓷自動探測的智能進針方式，保護探針及樣品。

超高倍光學定位系統(tǒng)，實現(xiàn)探針和樣品掃描區(qū)域精確定位。

集成掃描器非線性校正用戶編輯器，納米表征和測量精度優(yōu)于98%。

◆測量范圍及應用：

測量范圍：二維、三維、Z值、相位、表面形貌、粗糙度、膜厚、形貌、相位。

應用：納米材料、石墨烯、薄膜、鈍化膜、短切玻纖復材、分子篩、TiO2、CrPS4（15）、CrPS4（16）、中空纖維膜絲、粗糙度測試、四氧化三鐵、M13-PBA等。

◆ 應用案例 Application Case